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　主要特点

• 接粒部はすべてSUS 304　#400相当の研磨仕上げとなって、コンタミの発生を防止します。
• セラミックヒーターとSSC制御により省エネで安定した温度をコントロールします。
• ヒートレスドライヤを搭載し、露点が-50℃td以下に達します。
• シュトルツのラウンド方式を持ち、熱エネルギーを有効に利用して、エネルギー消費を抑えています。